國家智慧財產權局資訊顯示,騰訊科技(深圳)有限公司申請一項名為“電子束光刻劑量分佈的確定方法、裝置、裝置及儲存介質”的專利,公開號CN121596678A,申請日期為2024年8月電子。
專利摘要顯示,本申請公開了一種電子束光刻劑量分佈的確定方法、裝置、裝置及儲存介質,涉及計算機技術和半導體制造領域電子。該方法由GPU執行,包括:透過電子束光刻物理模型,根據電子束光刻的劑量分佈,計算得到預測成像影像;基於預測成像影像和目標成像影像,計算成像損失函式關於劑量分佈的梯度,其中,成像損失函式用於表徵預測成像影像和目標成像影像之間的差異;基於成像損失函式關於劑量分佈的梯度,更新劑量分佈,得到更新後的劑量分佈。該方法顯著減少了電子束光刻物理模型類比電子束光刻過程的計算耗時,以及確定電子束光刻的劑量分佈的整個流程的計算耗時,從而提高了確定電子束光刻的劑量分佈的效率。
天眼查資料顯示,騰訊科技(深圳)有限公司,成立於2000年,位於深圳市,是一家以從事軟體和資訊科技服務業為主的企業電子。企業註冊資本200萬美元。透過天眼查大資料分析,騰訊科技(深圳)有限公司共對外投資了15家企業,參與招投標專案285次,財產線索方面有商標資訊5000條,專利資訊5000條,此外企業還擁有行政許可574個。
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